聯(lián)系方式

新的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)做出來,采用了VMM 公司的設計和技術。

, 新款Precis 包含了很多可配置選項,使設備靠。

擴展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm

透射照明

完整電子繪圖– 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準

符合人體工程學的操作員控制臺,帶有隱藏鍵盤托盤, 可調節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合

全自動顯微鏡,所有設置計算機控制

某佳分辨率像素攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS?)可測組件很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差導入。

MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

標準 可選

X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 載重: 12 kg

XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um

Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

分辨率: 0.01 微米

視場測量精度和重復性:0.01 μm (100x)

直流伺服馬達驅動


詳情:

規(guī)格參數(shù)

  • 行業(yè)分類:

    儀器儀表/量儀/三坐標測量機

  • 產品類別:

  • 品  牌:

    VIEW

  • 規(guī)格型號:

    Precis 200

  • 庫  存:

    100

  • 生 產 商:

    美國

  • 產  地:

    中國廣東省東莞市

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